建筑布局和装修方案:是洁净实验室-生物实验室运行的基础。由于微生物病菌的危险性,必须防止危险性微生物向外界扩散,地阻断危险性微生物与外部环境的接触途径,同时避免微生物受外界污染,影响实验结果的准确性,必须采取合理的实验室布局和装修方案。实验室布局按照要求合理地划分成清洁区、半污染区和污染区,采用人与物分别设置专用通道,设置必要的缓冲间,采用一次隔离和二次隔离等措施,能有效的避免交叉污染,从根本上防止危险性微生物的扩散;实验室装修采用可靠的材料,合理的施工措施,保证洁净实验室-生物实验室始终处于相对密封的环境,防止微生物的外逸,易于实验室的清洁,同时避免外部对实验室环境的破坏。
检测方案:是洁净实验室-生物实验室长期运行的保证。由于洁净实验室-生物实验室的特殊性,除了进行严格的设计、施工、调试外,为确保其性,必须对其进行必要的工程检测和严格的验收,达到要求和使用要求后才可投入运行。另外,使用过程中的一些因素,如非专业的管理和使用,过滤器的更换等,都会对实验室的性产生影响,因此,使用中的定期检测与同样重要。
无尘车间里存在大量可以节约能源的地方,例如暖气、通风和空调(HVAC)、工艺冷却、压缩空气以及一些其他的设施。 HVAC系统消耗的电力超过了整座晶片制造厂用电量的一半。之所以造成大量浪费电力及HVAC的容量过剩,很大程度上是因为在设计和建造工厂时走捷径,尽可能地压缩前期投入,而不顾后期运行费用。率的设计和率设备需要很大的前期投入。那种“小处节约大处浪费”的所谓捷径和削减成本,会造成工厂的运行性能降低和能耗增加。 对已建成工厂的改建通常会陷入到毫无意义的经济漩涡当中
洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。