洁净厂房也叫无尘车间、洁净室(Clean Room),是指将一定空间范围之内空气中的微粒子、有害空气、等污染物排除,并将室内温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计的房间。亦即是不论外在的空气条件如何变化,其室内均能具有维持原先所设定要求的洁净度、温湿度及压力等性能的特性。
洁净厂房建筑方式可分为土建结构和装配式两种,其中普遍采用装配式。
装配式洁净厂房系统主要由初,中,高三级空气过滤的空调送风回风和 排风系统;动力及照明系统;工作环境参数的监测报警消防和通讯系统;人流和物流系统;工艺管路系统;维护结构及静电地面处理等各方面所要求的实施内容组成,形成空调净化系统工程所包含的整个设备和器材的配套和建筑安装内容。
一般以工业铝材(不锈钢方通、喷塑方通)做框架,采用风机滤网机组FFU送风,四周采用防静电垂帘,顶部铺盖密缝盲板,形成一个密缝区,内部净化级别可达100---10万级;特别适用于车间内局部对洁净度要求高的区域,如流水线作业区的高度产品组装区。
洁净技术,即玷污控制(Contamination Control)技术。指的是:对象(产品、人及动物)在被加工、处置、、防护及实验等过程中,对其所处环境内玷污物(影响对象的加工、处置、等质量、合格率或成功率的物质)进行控制的技术。
玷污物的污染包含对产品的损害和对人的危害。
污染包含直接污染和交叉污染(医疗范畴谓之感染)。
人是污染源的发源地:静坐时,人体每分钟散发10万个粒子(粒≥0.5μm);
每天脱落6~13克表皮细胞,一年脱落人体细胞约3.5公斤。
半导体洁净室内微污染来源,经测试,作业人员占80% 。