微粒控制十分严格、要求控制0.02μm甚至更小粒径ISO1级或更严格。

高纯物质，包括高纯水、高纯气体高纯化学品的供应、输送。

对微振控制十分严格、需制定切实可行的规定

对防静电、电磁兼容等

大体量、多层单向流洁净室，二层/三层布置数万㎡

丙类生产的电子工业洁净厂房的洁净室（区），在关键生产设备设有火灾报警和灭火装置以及回风气流中设有灵敏度严于0.01%obs/m的高灵敏度早期火灾报警探测系统后，其每个防火分区的允许建筑面积可按生产工艺要求确定。

净化工程包括：乱流式、乱流式、复合式。

1、乱流式

空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。

2、层流式

层流式空气气流运动成一均匀之直线型，空气由过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风。此型式适用于洁净室等级需定较高的环境使用，一般其洁净室等级为Class1~100。

3、复合式

复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。

净化车间工程设计一般都有设计院或净化工程公司来承接，很少出现设计问题不合理的原因，主要是一些不正规的公司，没有承接净化车间的资质，设计不合理，在施工中偷工减料，使用的设备不合适，造成净化车间洁净度不合格。另一个原因是，公司的套用方案，不符合生产要求，在设计上有不足，导致清洁度不合格