公司严格按照科学完整的质量管理体系,对工程建设实行全过程质量控制和项目管理。所建工程质量全部符合国家标准(或美国联邦FS209D技术标准)、GMP规范及GLP等技术要求,并逐步形成了专业化的项目管理模式,实行严格的质量管理,在同行和用户中享有良好的口碑,业绩遍及全国,同时部分工程及产品远及国外。我们本着“质量、信誉至上”的原则,坚持“以科学为手段、以市场为导向、一切为客户着想”的方针,以“一站式”服务的宗旨,竭诚为客户提供优质、的系统化服务,我公司认真对待每一个产品,每项工程,以质优取得用户信赖。
209E与209D等之不同在于209E表示单位增加了公制单位,超净间等级以‵M′字头表示,如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此类推,配合国际公制单位之标准化,M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微尘粒子数目字以10的幂次方表示,取指数为之,若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间,则以1.5、2.5、3.5….表示。
层流式空气气流运动成一均匀之直线形,空气由覆盖率之过滤器进入室内,并由高架地板或两侧隔墙板回风,此型式适用于无尘室等级需定较高之环境使用,一般其超净间等级为Class 1~100。
洁净隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。
此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响了工作及品质,ULSI制程大都采用此种型式。
洁净隧道另有二项优点:A.弹性扩充容易; B.维修设备时可在维修区轻易执行。