相比传统的驻极体麦克风，微机电系统（micro-electro-mechanical systems，MEMS）麦克风拥有体积小、耐热性好、一致性好、稳定性好、可靠性高、抗射频干扰等优势，还可以输出数字信号并有利于智能化发展，其市场规模在近10年保持快速增长的势头，各种新兴应用层出不穷，从智能手机到智能音箱，再到真无线立体声（true wireless stereo，TWS）耳机。
铝带麦克风
对于铝带麦克风来说，其使用的铝带既是麦克风膜片，又是在磁场中运动的导体。铝带通常由铝帛制成，厚0~1毫米，宽2毫米~4毫米，质量仅为0.2毫克，以求达到较好的瞬态反应。为了取得在2kHz~4kHz之间较理想的共振频率，铝带被制成皱折状以保持一个的张力值。铝带作为导体和麦克风膜片被悬挂于两磁极面中间的磁场中，随入射声波频率而振动，同时在铝带两端产生一定的电压输出
灵敏度
指麦克风的开路电压与作用在其膜片上的声压之比。实际上，麦克风在声场必然会引起声场散射，所以灵敏度有两种定义。一种是实际作用于膜片上的声压，称为声压灵敏度，另一种是指麦克风未置入声场的声场声压，称为声场灵敏度，其中声场灵敏度又分为自由场灵敏度和扩散场灵敏度。通常录音用麦克风给出声压灵敏度，测量用麦克风因应用类型给出声压或声场灵敏度 。
灵敏度的单位是伏/帕（伏特/帕斯卡，V/Pa），通常使用灵敏度级来表示，参考灵敏度为1V/Pa
有动圈式、电容式、驻极体和近新兴的硅微传声器，此外还有液体传声器和激光传声器。
动圈传声器音质较好，但体积庞大。
驻极体传声器体积小巧，成本低廉，在电话、手机等设备中广泛使用。
硅微麦克风基于CMOSMEMS技术，体积更小。其一致性将比驻极体电容器麦克风的一致性好4倍以上，所以MEMS麦克风特别适合高性价比的麦克风阵列应用，其中，匹配得更好的麦克风将改进声波形成并降低噪声。